潔凈室氣密測試程序的描述
潔凈室氣密測試程序的描述
日期：2025-05-01 02:10
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摘要：
潔凈室氣密測試程序：
1.確定采樣點(diǎn)的位置及數(shù)量，采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作面高度。
2.確定單次*小采樣量與取樣時(shí)間。每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量應(yīng)至少為2L，采樣時(shí)間應(yīng)至少為1min，當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有1個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。METone3445塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣流量為100L/min，因此單次取樣時(shí)間1分鐘時(shí)，能滿足測試要求。
3.粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭不得直接置于送風(fēng)口整下方。當(dāng)測單向流設(shè)施的潔凈度時(shí)，采樣頭應(yīng)對(duì)準(zhǔn)氣流;當(dāng)測非單向流時(shí)，采樣探頭一律朝上。
4.室內(nèi)測試人員應(yīng)穿潔凈服，不得超過3人，測試人員應(yīng)位于測試點(diǎn)的下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)，動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。
5.當(dāng)采樣點(diǎn)只有1個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不計(jì)算95%置信上限;當(dāng)采樣點(diǎn)為1個(gè)以上10個(gè)以下時(shí)，除應(yīng)計(jì)算各采樣點(diǎn)的平均值和總平均值外，還應(yīng)計(jì)算計(jì)算95%置信上限。